1.超高洁净度
极低析出特性（outgassing率<0.1%）
表面离子污染控制在ppb级
通过SEMI F72标准认证
2.极端环境耐受性
耐高温范围宽（-200℃~300℃）
耐等离子体腐蚀（可承受10^15 ions/cm²辐照）
抗强酸强碱（HF/H2SO4等）
3.精密稳定性
尺寸公差达±0.01mm
热膨胀系数（CTE）<10ppm/℃
吸水率<0.02%（LCP材料）
4.特殊功能要求
可控导电性（表面电阻10^6~10^12Ω）
介电常数Dk<3.0（高频应用）
光学级透光率（>92% COP材料）
5.长寿命可靠性
机械寿命>100万次（测试插座）
耐疲劳特性优异
抗蠕变性能突出