切割打孔

切割打孔工艺是利用激光或刀片将晶圆分割成单个芯片,结合激光钻孔或机械钻孔技术在芯片上形成高精度通孔,用于引脚安装或电气连接,需严格控制边缘质量和孔深以避免损伤。


类别描述
激光切割

硅、石英、玻璃、陶瓷等

● 厚度100-700μm● 晶圆尺寸:12inch及以下●切割宽度:≤10um

刀片切割

硬刀:Si,Ge等

软刀:玻璃,石英,陶瓷等