| 类别 | 描述 |
| 接触式光刻 | 最小图形尺寸：1.5μm，套刻精度：±500nm 样品尺寸：8inch及以下、不规则 小片 |
| 电子束光刻 | 最小图形尺寸：5nm，套刻精度：10nm,电压10-20kV 样品尺寸：8inch及以下、不规则小片 |
| 步进式光刻 | 投影比例1:5，最小图形尺寸：300nm，套刻精度≤100nm(X,Y)，曝光范围<20*20mm 样品尺寸：12inch及以下 |
| 类别 | 描述 |
| 接触式光刻 | 最小图形尺寸：1.5μm，套刻精度：±500nm 样品尺寸：8inch及以下、不规则 小片 |
| 电子束光刻 | 最小图形尺寸：5nm，套刻精度：10nm,电压10-20kV 样品尺寸：8inch及以下、不规则小片 |
| 步进式光刻 | 投影比例1:5，最小图形尺寸：300nm，套刻精度≤100nm(X,Y)，曝光范围<20*20mm 样品尺寸：12inch及以下 |