无尘耗材

光刻中的无尘耗材具有低尘、防静电、高洁净度等特点,用于保障光刻环境超净,防止污染。


类别描述
棉签

擦拭头采用聚脂纤维,并经无尘清洗;极低的发尘量; 长丝纤维擦拭头,无粘合剂;无尘室真空包装;可用来擦拭各种试剂与溶液。

无尘纸

低尘,低离子剩余,擦拭效果佳,高储水能力,多用于擦拭精密物件的表面。在10级净化房包装, 适用于半导体、液晶显示、精密光学仪器等。

无尘布发尘量极低,有较好的吸液性能和抗溶解性能,擦拭效果佳,高储水能力,多用于擦拭精密物件的表面。
吸附盒

由盒身和盒底涂有的高分子胶层共同组成,不同粘度的胶层可确保装入的样品不会被灰尘污染,也不会颠簸脱落。

单片盒

PP材质,适用于2~8寸wafer的包装。满足一些易碎的以及表面质量要求严格的器件的特殊要求和各类样品展示、携带、运输等。

不锈钢cassette可提供2inch-8inch,用于清洗和烘烤一体化
玻璃培养皿玻璃材质。适用于晶圆等样品的清洗,浸泡等场景。
镊子在高温下能保持较高的强度;耐滑防磨,夹取晶圆时不会产生划痕;耐腐蚀性强;不同形状的镊子适用于不同尺寸的晶圆。
划片刀金刚笔:笔尖采用金刚石,硬度高,不易断尖。适用于划割硅片,玻璃片等晶片。