掩膜版

掩膜版是光刻工艺中的重要工具，由基板和遮光图形组成，用于在光刻时将特定图案转移到晶圆等衬底上，决定芯片等器件的电路结构与功能。

类别	描述
光刻版类型	石英版/苏打版/菲林版
工艺能力	主供2.5英寸-9英寸,其他尺寸可致电定制，苏打版精度±0.25um/ 石英版精度±0.1um