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  碳化硅

  • 碳化硅是一种宽禁带半导体材料，有高硬度、高导热、强化学稳定性等特点，可用于高频、高压、高温MEMS器件制造。

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  氮化镓

  • 氮化镓是宽禁带半导体材料，具高频、高功率等特性，用于制造高性能传感器、射频器件等。

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  铌酸锂

  • MEMS中的铌酸锂是一种具有优异压电、电光、声光等特性的功能材料，常用于制造滤波器、传感器、调制器等关键器件。

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  陶瓷片

  • MEMS中的陶瓷片通常由特定陶瓷材料制成，具有良好的机械性能、电气性能和热稳定性，可用于传感器、执行器等多种MEMS器件。