台阶仪

台阶仪是一种用于测量材料表面微观形貌和尺寸的精密仪器，主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度，线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试，表面3D形貌等测试功能。

1.支持8 inch及以下尺寸晶圆;

2.单次扫描长度200 mm;

3.垂直分辨率≤0.01 Å@10μm;

4.高度重复性≤4 Å ;

5.垂直测量范围0~327 μm;

6.恒力控制范围0.5~50 mg。