高标准、精细化、响应快
PMMA工艺常涉及基片预处理、旋涂光刻胶、前烘、曝光、显影等,还可用于微流控芯片封装、晶圆减薄保护。
1、PMMA的密度比玻璃低
2、PMMA的机械强度较高
3、PMMA的熔点较低
4、PMMA的透光率较高