微热板器件

通过在微热板上施加电压，使加热丝产生焦耳热，热量以热传导、热辐射和对流的方式传递到周围环境或被加热物体上，实现局部快速、高效加热，加热丝多采用钨、铂等，多与MEMS悬膜工艺相配合。