氮化硅薄膜器件

氮化硅薄膜器件是以氮化硅（Si3N4）薄膜为关键材料制作的器件，主要服务于同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外、TEM、EDX观测等结构分析或透射成像实验。